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二氧化铪,氯氧化铪,氢氧化 07-11 |
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供应多晶硅清洗设备(苏州华林科纳)
苏州华林科纳:本设备为柜体式,外箱体为德国磁白PP,内箱体为德国PVDF,操作面带有德国透明PVC门窗。主体结构由清洗机箱体、清洗机活动轴、防漏盘、活动压盘系统、喷淋系统、储酸系统、抽风系统、滚动系统、酸液循环系统、石英器皿腐蚀槽、石英器皿清洗槽、热氮烘干系统、管路部分、PLC+触摸屏电控部分。该设备主体左右两部分:上下分为三部分:右侧电器控制系统、后部抽风系统,中层工作区,下层为管道安装维修区、储酸箱、酸液循环泵、储物间。系统通过在线式电导率检测仪检测与PLC控制互锁来随时监控被清洗工件的清洗质量。
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