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当前位置：远红外自由电子激光光学谐振腔
光学谐振腔是自由电子激光器的一个重要组成部分。原子能院的远红外波段的光学谐振腔由两个相距2767mm，曲率半径分别为1938mm和1668mm的圆柱面反射镜M1(上游镜）和M2（下游镜）相对置于与波振器矩形真空室连接的光镜室中组成。两反射镜为长102mm×高15mm×厚16mm的熔石英，长和高方向组成凹圆柱镜面，其上淀积金薄膜。为满足产生自由电子激光的要求，必须使波振器的机械中心轴，自由漂移的电子束轴和两反射镜镜面中心相对构成的光轴同心，且光轴方向（Ｚ方向能精细地调节，则要求镜面对称中心的母线及其垂直轴能在真空室内一定范围下作六维，即Ｘ，Ｙ，Ｚ（Ｚ为光轴方向和θx,θy,θz方向的精细调节动作。在本光学谐振腔设计中，上游镜Ｍ1全部调节机构处于真空室内，手动调节，安装准直时在大气下先行调好锁定，抽真空后不作调整；下游镜Ｍ2的Ｘ，Ｙ，Ｚ三组调节装置处在真空室外，Ｙ方向手动调节，Ｘ和Ｚ方向则由计算机控制步进电机调节；θx,θy和θz调节机构处在真空室内，在真空下从外部进行调节，θx和θｚ为手动调节，θy亦由计算机控制步进电机调节。